LVC414 ASM Pengontrol Vaporizer Uap Cair LVC 414

LVC414 ASM Pengontrol Vaporizer Uap Cair LVC 414

Rincian Produk

Pengontrol Vaporizer Elektronik LVC-414 telah dirancang untuk mengukur dan mengontrol secara akurat

laju aliran massa (gram / menit) dari bahan doping dengan memvariasikan aliran gas pembawa melalui a

bubbler yang mengandung bahan sumber.

Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. Bahan sumber termasuk SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 dan BBr3. Other doping material can Bahan doping lainnya bisa

juga dikontrol, asalkan mereka menguap dengan konsentrasi yang memadai untuk akurat

ratiodetection. ratiodetection. Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. Gas pembawa meliputi H2, He, N2, O2 dan Ar.

Tiga output disediakan:

Sumber (0 hingga + 5VDC).

Operator (0 hingga + 5VDC)

Rasio (0 hingga + 5VDC).

Output ini dapat dipantau dengan voltmeter DC 5 volt dengan sensitivitas 1000

ohms/volt or more. ohm / volt atau lebih. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source Katup built-in memvariasikan laju aliran massa pembawa untuk mengontrol sumber

gram/min. gram / mnt. selected by an external control voltage. dipilih oleh tegangan kontrol eksternal.

Satu paket kecil berisi bagian flowmeter, detektor rasio, katup kontrol dan

elektronik

SPESIFIKASI

ARUS PEMBANGKIT MINIMUM CAREER: maksimum 5%

MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. ALIRAN SUMBER MAKSIMUM: Hingga 40 gram / mnt. full scale skala penuh

RANGE TEKANAN OPERASI: diferensial 10-40 psi

TEKANAN GAS MAKSIMUM: 60 psig

RANGE TEMPERATUR GAS DAN AMBIEN: 60-90 ° F (15-35 ° C) hingga 43 ° C atas permintaan khusus

TANGGAPAN: 10 detik hingga 4% dari setpoint

GAS PENGGERAK: Hidrogen, Helium, Nitrogen, Oksigen atau Argon,, Gas campuran

REPEATABILITY: ± 0,5% dari skala penuh

SENSIBILITAS TEKANAN: ± 0,25% dari skala penuh untuk tekanan dari 10 hingga 40 psid

AKURASI DAN LINEARITAS: ± 4.0% dari skala penuh pada seluruh rentang operasi

PENGATURAN PERINTAH: 0,1 hingga 5 vdc

INDIKASI OUTPUT:

1. SUMBER: 0,1-5 vdc berbanding lurus dengan laju aliran massa cairan yang diuapkan

2. CARRIER: 0,1-5 vdc berbanding lurus dengan laju aliran massa gas pembawa

3. RASIO: 0,1-5 vdc berbanding lurus dengan rasio aliran uap (SCCM) terhadap aliran pembawa

(SCCM) diskalakan dengan 5 vdc = 50%

IMPEDANSI OUTPUT: maksimum 10 ohm

RIPPLE: maksimum 50 mv pp

Hubungi kami

miya@mvme.cn(Klik)

Email: miya@mvme.cn

QQ: 2851195450

Tel: 86-18020776792

Skype: miyazheng52